Прорыв в области локализации ключевых компонентов систем прямого привода | Модули линейных двигателей DDL от «Молочи» — прочная основа для прецизионных движений в полупроводниковой отрасли 

В настоящее время в Китае высокотехнологичные двигательные модули для производства полупроводникового оборудования по-прежнему в значительной степени зависят от импорта, а прецизионные линейные двигатели стали ключевым узлом, от которого зависит самостоятельность и контролируемость производственной цепочки. Компания «Молочи (Сучжоу) Интеллиджиент Текнолоджи», расположенная в Инновационном парке интеллектуального производства полупроводников в Уцзяне, опираясь на более чем десятилетний опыт разработки систем прямого привода, самостоятельно разработала и запустила в серийное производство полную линейку модулей линейных двигателей DDL, восполнив тем самым технологический пробел в сфере высокоточных компонентов прямого привода отечественного производства.

Линейные двигатели Morocchi DDL подразделяются на три основные линейки: с сердечником, без сердечника и U-образные без сердечника. Одновременно с этим была представлена запатентованная линейная модульная система с полной герметизацией, рассчитанная на большие нагрузки, которая решает проблемы пылезащиты, высокой нагрузки и высокоскоростной работы оборудования для резки и контроля полупроводниковых пластин. Традиционные модули с винтовыми пазами имеют такие недостатки, как зазор, износ и низкий предел скорости. Решение с прямым приводом от Morochi исключает промежуточные передаточные механизмы, обеспечивая точность повторяемости позиционирования до ±0,1 мкм и ускорение свыше 5G, что позволяет использовать его в таких сверхточных процессах, как пробниковые столы для полупроводниковых пластин, оборудование для фотолитографии и лазерная резка.

Техническая команда сформирована из ведущих специалистов Института электродвигателей Китайской академии наук. На счету команды более 30 патентов на полезные модели и изобретения в области конструкции электродвигателей и смазочных устройств. Разработанная собственными силами система полностью автоматической смазки линейных направляющих значительно продлевает срок безотказной работы модулей и снижает затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание полупроводникового оборудования. Продукция уже поставляется серийно многим производителям полупроводникового оборудования в регионе Реки Янцзы, заменяя импортные линейные модули. Сроки поставки сократились на 60 %, а совокупные эксплуатационные расходы снизились на 35 %.

Руководитель компании заявил, что компания «Молочи» продолжает углубленно заниматься разработкой базовых технологий прямого привода, сосредоточиваясь на создании высокомощных и стабильных на линейных двигателей наноуровне для высокотехнологичного оборудования в сфере полупроводников и фотоэлектричества, что способствует модернизации и обеспечению самостоятельности всей цепочки производства отечественного оборудования для полупроводниковой промышленности.